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真空位(wei)移臺-高低(di)溫(wen)真空模(mo)組(zu)滑臺產品特點

常用真空度：10^-3Pa~10^-5Pa~10^-7Pa

一體化(hua)設計，可靠易(yi)用標準化(hua)設計制(zhi)造(zao)42、60、90、120四種規格(ge)，可定制(zhi)其它規格(ge)

工作環境溫度：-196℃至+200℃，線圈溫度可達(da)300℃

適用真空度:10^-7Pa

耐輻射劑量:10⁶Gy

真空機器人，可以在10^-7Pa的(de)真空(kong)環境下(xia)運行，耐溫(wen)達200°C，真空(kong)機器(qi)人的(de)設計首要(yao)(yao)考慮機構和(he)材料。此(ci)系(xi)列(lie)產品(pin)大部分組件(jian)采用(yong)不銹鋼加工(gong)或熱膨脹系(xi)數相當的(de)并且出氣率低的(de)材料。此(ci)系(xi)列(lie)產品(pin)主要(yao)(yao)應用(yong)于真空(kong)室，高溫(wen)室，高潔凈度環境。

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