用(yong)于超高真空環境(jing)應用(yong)的(de)電機(ji)。

真(zhen)空電機與普通電機區別 電機在真(zhen)空下工作(zuo)有什(shen)么反(fan)應 真(zhen)空環境怎么散熱(re) 

東莞(guan)市(shi)臻上機(ji)電(dian)設(she)備(bei)有限公司供(gong)應(ying)高(gao)低溫真(zhen)(zhen)空步進電(dian)機(ji) ，高(gao)低溫真(zhen)(zhen)空伺服電(dian)機(ji) ，真(zhen)(zhen)空位移臺-高(gao)低溫真(zhen)(zhen)空直線(xian)模組滑(hua)臺

如(ru)何掌(zhang)控并提(ti)高(gao)(gao)未(wei)來(lai)對于真(zhen)(zhen)空環境作業(ye)的可(ke)靠性和質量，避免因高(gao)(gao)真(zhen)(zhen)空環境而(er)帶來(lai)設備無法

工作的問題？

現代工廠，例如LED或OLED的(de)生(sheng)產中會(hui)越(yue)來越(yue)多涉及(ji)到真空(kong)環(huan)境；自上世紀90年代起在

晶圓(yuan)生(sheng)產過程中廠家設法避免微小灰塵的進(jin)入。當今的生(sheng)產過程如噴鍍(du)（將固體材(cai)料物質

以(yi)粒子的形式在(zai)另一(yi)物體表(biao)面形成(cheng)一(yi)層(ceng)很薄、精確的涂層(ceng)）會摻雜空(kong)氣中其他物質。

為什么不可(ke)以將電機直接工作(zuo)在真空罐中？這樣會(hui)比較(jiao)簡單(dan)。普通的(de)電機由于散發(fa)微(wei)小粒

子和分子沉淀會(hui)污染(ran)真空(kong)罐。其(qi)中(zhong)的有(you)機物(wu)比如潤滑脂，粘合(he)劑，絕緣層和其(qi)他物(wu)質會(hui)有(you)氣

體產生(sheng)，而(er)將普通電機用在真空環(huan)境中會帶來污染真空罐或其他精密儀器的風險。真空環(huan)境

中，普通電機所散(san)發(fa)氣(qi)體量，取決于(yu)電機自身等級和工作環境(jing)溫度，或(huo)許(xu)普通的(de)電機可(ke)以偶

爾能工作在(zai)低真空環(huan)(huan)境(jing)中，但(dan)是(shi)在(zai)高(gao)真空和超高(gao)真空環(huan)(huan)境(jing)中是(shi)絕對無法(fa)使(shi)用的。

所以，在真空環境下使用電機一定要考慮以下因素：

1、影響散熱(re)空氣對流和(he)傳(chuan)導這兩種一般情況下最主要(yao)的散熱(re)方式已經無法(fa)成立，只能

通過輻射(she)散(san)(san)熱(re)，散(san)(san)熱(re)效率遠遠低于有大氣的情(qing)況(kuang)。

2、真(zhen)空(kong)放電一些高壓元件在真(zhen)空(kong)環境（非絕對真(zhen)空(kong)，指低氣壓）中更容易發生氣體放

電或擊穿現(xian)象。如果真空度更高還可(ke)能(neng)發生電暈放電等現(xian)象。

3、物(wu)質揮(hui)發可以(yi)想象(xiang)，部(bu)分元器件材料(liao)的表面物(wu)質（如鍍膜等）會在真空中加速揮(hui)

4、產生「冷焊」現象在(zai)沒有空氣的情況下，相(xiang)互(hu)接(jie)觸(chu)的材(cai)料可能會因為分子(zi)間作用力

而自(zi)動「粘(zhan)」在一(yi)起。這對步進電機等儀器有相當大的影(ying)響。

5、部分依(yi)賴空氣或氣流的(de)設備(bei)無法正(zheng)常工作，比如風扇之類的(de)東(dong)西。

直接(jie)將電機(ji)用在真空環境中會代來很多好處，但是對電機(ji)也有(you)特殊要求：

電機要能夠(gou)承受真(zhen)空中的高溫，確(que)保電機結構不發生(sheng)變化，還有保證(zheng)自(zi)身的精度。

要求如下幾點

1、真空(kong)電機(ji)的外(wai)殼一般都采用不(bu)銹(xiu)鋼(gang)材料，確保定位準確，運(yun)動過(guo)程中不(bu)產生任(ren)何氣體，

這(zhe)樣(yang)結構的(de)電(dian)機也可以工作在一些極端環(huan)境中。

2、此外為了確保電機使(shi)用壽命長，無(wu)氣(qi)體(ti)產生(sheng)，高質量(liang)的線圈絕緣材料和特種潤滑劑也

是必需的(de)。根據不同真空度和工作周期，各(ge)個部分的(de)優化組合也是很重要。

3、真空(kong)中的(de)(de)溫度(du)處理(li)(li)需要特別關注(zhu)的(de)(de)是真空(kong)中的(de)(de)溫度(du)處理(li)(li)，由于真空(kong)中沒有(you)空(kong)氣對(dui)流，

熱(re)量只(zhi)能(neng)靠熱(re)輻射和材(cai)料的(de)熱(re)傳導來消除。因此為了避免電機過熱(re)，要(yao)根據實際使用的(de)工

作周期，選型中要帶有一定的安(an)全余量(liang)。

此外，還可以選擇集成在(zai)電機線圈中的溫(wen)度傳感器直(zhi)接測(ce)出電機的溫(wen)度，通(tong)過(guo)控制電機的

電流降低電機(ji)的問題(ti)，對熱量的有效控制可以延長電機(ji)的使(shi)用壽命(ming)。

在真(zhen)空(kong)(kong)中使(shi)用(yong)真(zhen)空(kong)(kong)電(dian)機最大的(de)好處是減(jian)少真(zhen)空(kong)(kong)泄露(lu)的(de)風(feng)險。過程(cheng)的(de)穩定性(xing)和可靠性(xing)是最重

要的，特別是在工(gong)業生產(chan)過程中。電(dian)機，根據不同(tong)使(shi)(shi)用強度，使(shi)(shi)用一段時間后可能需要考

慮(lv)更(geng)換(huan)軸承，而(er)高質量(liang)的真(zhen)空電機在(zai)適(shi)當的防護和保養下，可(ke)以長時(shi)間使用。